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一起来聊聊超纯水设备的应用

  一同来聊聊超纯水处置设备如何去除杂质。溶解的无机盐有钠、钙、镁等盐类,溶于水构成正离子。含有这些离子的水冲洗半导体器件时,会使这些不纯物扩散到集成电路外表,形成短路。过去除去水中无机盐是将水蒸馏。


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  但就是三次重蒸馏水,水的电阻率仅3兆欧-厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl.较为近有用反浸透法去离子。所以要用离子交流树脂。阳离子交流脂和阴离子交流树脂分别运用,易于再生,混合床离子交流树脂用在离子交流的终级,起把关的作用。这样出来的水可达18兆欧-厘米(25摄氏度)。


  溶解的有机物有工业排出污物、洗濯剂、生物合成物和微生物的新陈代谢产物。这些能够用活性炭吸附办法除去。炭床要置于离子交流树脂之前,因活性炭自身会带来杂质。必需留意,进入树脂床的水要先除去有机物,由于离子交流树脂易为有机物(如腐殖酸)污染。反浸透可除去分子量大于300的有机物,分子量小于300的有机物可除去90%.


  粒子物质很多中央都容易产生,如炭床、树脂床、深层过滤等一些设备。固然用一些办法使到达高电阻率,但没有有效地除去粒子物质。这就会使半导体器件呈现针孔、短路、断路、内部击穿和光致抗蚀剂零落等缺陷。除去粒子物质,只要用膜滤,普通规范用孔径为0.45微米的微孔滤膜,特殊需求用孔径为0.22微米的微孔滤膜,除去胶体铁、胶体硅和小细菌。反浸透也能除去小粒子。


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